净化厂房工艺管道设计专要求 　
对于空气洁净度有要求的区域，工艺管道的主管应敷设在技术夹层和技术夹层中。需要拆卸、清洗和消毒的管道应使用，易燃、易爆和有毒材料的管道也应使用。如果敷设在技术夹层和技术夹层中，应采取相应的通风措施。 　
干管系统应设置必要的吹扫口，放净口和取样口。 　
洁净管材应采用低碳优质不锈钢或其它无污染材料。 　
工艺管道上的阀门、管件材料应与管道材料相适应。 　
除满足工艺要求外，洁净室内使用的阀门、管件应采用拆卸、清洗、检修等结构形式。 　
管道和设备应采用金属管连接，如果需要软管，应采用可靠的柔性接管。 　
应焊接技术夹层和技术夹道中的干管连接。 　
法兰、螺纹或其他密封性能优异的连接件应用于管道与阀门的连接。与材料接触的法兰和螺纹应用聚四氟乙烯密封。套管穿过洁净室的墙壁、地板和天花板，套管内的管段不得有焊缝、螺纹或法兰。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。 　
洁净室内敷设管道较少，引入洁净室的支管应暗敷。 　
洁净室内的管道应排列整齐，尽量减少阀门、管件和管道支架。 　
洁净室内的管道应根据其表面温度、热量或吸热量以及环境的温度和湿度来确定。冷绝缘管道的外壁温度不得低于环境的露点温度。 　
管道保温层表面必须平整、光滑，不得有颗粒物质脱落，并应采用金属外壳进行保护。 　
洁净室内管道外壁应采取防锈措施。洁净室内的各种管道都设有标明介质及其流动方向的标志。